- SCattering with Angular Limitation Projection Electron beam Lithography
- Abbreviation: SCALPEL
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
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Elektronenstrahllithografie — Die Elektronenstrahllithografie (ESL, englisch electron beam lithography oft als e beam lithography abgekürzt) ist in der Mikro und Halbleitertechnik ein spezielles Verfahren zur Strukturierung einer Elektronenstrahl empfindlichen Schicht… … Deutsch Wikipedia